CCI防静电包胶轮在半导体洁净室的应用,为高精度电子制造环境中的静电控制与洁净需求提供了革命性解决方案。在半导体、液晶面板和微电子行业中,静电释放(ESD)和微粒污染是影响良品率的核心挑战。CCI防静电包胶轮凭借其独特的材料技术与设计,成为洁净室自动化设备、物料传输系统的关键组件,助力企业实现高效、安全、无尘的生产流程。
一、为何半导体洁净室需要防静电包胶轮?
半导体制造对环境洁净度与静电控制的要求极为严苛:
静电危害:静电吸附尘埃或放电可能损伤晶圆、芯片等敏感元件,导致产品失效。
洁净室标准:ISO Class 1-5级洁净室要求设备部件无尘脱落、耐化学清洁剂腐蚀。
长期稳定性:设备需在24/7连续运行中保持低磨损、低振动,避免停机维护。
二、CCI防静电包胶轮的核心优势
1、卓越的防静电性能
表面电阻值稳定在 10^6~10^9 Ω,符合ESD S20.20标准,有效导除静电,避免电荷积累。
包胶层添加特殊导电材料,确保静电通过轮体—轴系—接地路径安全释放。
2、洁净室兼容设计
胶层采用无硅、低挥发性聚氨酯(PU)材质,避免化学残留或微粒脱落污染环境。
耐酒精、异丙醇等清洁剂腐蚀,适应高频次消毒流程。
3、超长使用寿命与低维护
高弹性PU包胶层提供优异的抗冲击与耐磨性,动态负载能力达 500kg/轮。
精密轴承与密封结构设计,防止润滑油脂泄漏污染洁净室。
4、定制化适配能力
支持轮径(Φ50~300mm)、硬度(60~90 Shore A)、导电等级等参数定制,适配AGV小车、传送带、货架搬运系统等设备。
三、典型应用场景
晶圆搬运机器人:在光刻、蚀刻工序中,CCI防静电包胶轮确保机械臂平稳移动,避免静电损伤晶圆表面电路。
洁净室AGV小车:搭载CCI聚氨酯轮的自动导引车,安全运输硅片盒、光掩膜版等高价值物料。
精密检测设备:用于SEM、FIB等仪器的移动平台,减少振动干扰与静电吸附微粒。
四、技术参数概览
表面电阻: 10^6~10^9 Ω
胶层材质: 导电聚氨酯(PU)
负载能力: 静态≤1000kg/轮,动态≤500kg/轮
适用温度: -20℃~+80℃
洁净度兼容:ISO Class 1-5级
成本优化:延长更换周期50%以上,降低洁净室停机损失与备件成本。
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