半导体空中走行式穿梭车（OHS）聚氨酯驱动轮专为洁净车间设计，采用高端聚氨酯材质，低生热、耐疲劳抗撕裂，高弹性减少粉尘，耐温抗老化，寿命延长30%+，支持24/7运行，防静电(10⁸~10⁹Ω)/导电(10³~10⁵Ω)双模，满足SEMI/FED标准，保障晶圆传输稳定与洁净安全。
在半导体及面板制造领域，空中走行式穿梭车（OHS）是自动化物料搬运系统（AMHS）的核心设备，负责晶圆盒（FOUP）、玻璃基板等精密元件的快速、精准传输。而作为OHS的核心传动部件，聚氨酯驱动轮凭借其独特的材料性能和工程化设计，成为保障洁净车间高效、安全运行的关键技术。
1. 极低内生热与耐疲劳性
材料通过动态模量调控，在高速运转时内部摩擦生热降低40%以上，避免因温升导致的变形或性能衰减。
耐疲劳强度提升至普通橡胶轮的3倍，可承受超1000万次循环负载，满足OHS车频繁启停、加减速的严苛工况。
2. 抗撕裂与高回弹特性
聚氨酯分子链交联密度优化，撕裂强度达50kN/m以上，即使在高负载冲击下仍保持结构完整性。
回弹性>90%，有效缓冲振动并减少与轨道的摩擦损耗，显著降低粉尘产生率（实测粉尘量<0.01mg/m³）。
3. 耐温性与抗老化能力
工作温度范围扩展至-40℃~+120℃，短期耐温峰值达150℃，远高于普通聚氨酯（通常<80℃）。
添加抗UV及抗氧化剂，在强光或臭氧环境下使用寿命延长30%，支持7×24小时不间断运行。
4. 防静电与导电双模式设计
防静电模式：表面电阻10⁸~10⁹Ω，可缓慢导走静电荷，避免ESD风险。
导电模式：电阻值10³~10⁵Ω，适用于Class 100以下超高洁净车间，快速消除静电。
应用场景
1. 晶圆厂AMHS系统
晶圆盒传输：OHS通过架空轨道在晶圆厂的扩散区、光刻区、刻蚀区等不同工艺区域间运输晶圆盒。聚氨酯驱动轮的低粉尘特性可避免污染Class 1-100级洁净环境，确保晶圆表面无颗粒附着。
高精度定位：驱动轮的高回弹性和耐磨性可减少传动误差，配合编码器实现微米级定位精度，满足先进制程（如3nm以下）对物料搬运的严苛要求。
2. 面板厂超大基板搬运
在G10.5/11代面板生产线中，OHS需搬运3m×3m以上的玻璃基板。聚氨酯驱动轮的高承载能力（单轮静载可达2~5吨）和抗振动设计，可防止基板因应力集中产生微裂纹，同时导电模式（10³~10⁵Ω）消除静电吸附灰尘的风险。
3. 设备内部高温环境
在CVD（化学气相沉积）、刻蚀机等设备内部，OHS需在高温（80~120℃）或真空环境下运行。聚氨酯驱动轮的耐温性（短期耐150℃）和抗老化性能，确保其在极端条件下仍能稳定工作，减少设备停机维护频率。
4. 跨区域长距离运输
在Fab厂房的跨楼层或跨模块运输中，OHS需连续运行数公里。聚氨酯材料的低内生热特性（温升<10℃）可避免轮体热膨胀导致的轨道偏移，保障长周期运行的可靠性。
半导体 OHS 聚氨酯驱动轮凭借其极低的内生热、卓越的耐疲劳性、抗撕裂性、承载能力、高回弹性、高耐温性、优良的抗老化能力以及出色的防静电和导电性能等一系列独特优势，成为面板 / 半导体行业生产设备中不可或缺的关键组件。随着行业的不断发展和技术的持续进步，聚氨酯驱动轮将在提升生产效率、保障产品质量等方面发挥更加重要的作用，助力面板 / 半导体行业迈向更高的发展台阶。
